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  台式扫描电子显微镜
发布时间:2016-06-23  浏览次数:   来源:磁器中心


设备名称:台式扫描电子显微镜

设备介绍

型号:Phenom ProX

设备用途飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 是终极的集成化成像分析系统。借助该系统,既可观察样品的表面形貌,又可分析其元素组分。

研究样品时,得到样品的形貌信息只是解决了一半问题。获得样品的元素组分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊设计的能谱探测器,飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 可以完善解决上述所有问题。

能谱仪是一种基于样品被电子束激发而产生 X 射线的分析仪器。Phenom 的能谱仪无论软件、硬件都是完全集成设计在飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 系统中。

Element Identification (EID) 软件可以使用户实现多点分析,检测样品的元素组分。此外,该软件还可以扩展到元素分析线面扫(mapping)功能。分步操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据。

设备组成扫描电子显微镜(SEM)主要由电子枪(灯丝为CeB6)、加速电压、真空系统、背散射电子探测器及计算机控制系统等组成。

性能参数:

  • 光学放大:20 - 135 X

  • 电子光学放大:80 - 130,000 X

  • 分辨率:优于 10 nm

  • 数字放大:Max. 12 X

  • 光学导航相机:彩色

  • 加速电压:5 Kv - 15 Kv  连续可调

  • 真空模式:高分辨率模式降低核电效应两种模式

  • 探测器:背散射电子探测器

  • 样品尺寸:最大直径 32 mm (Ø)

  • 样品高度:最高 100 mm


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