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  电子束蒸发镀膜系统
发布时间:2016-06-24  浏览次数:   来源:磁器中心


设备名称:电子束蒸发镀膜系统

设备介绍:

型号:DZS-500

设备用途:用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等,广泛应用于大专院校、科研机构的科研及小批量生产

设备组成:系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成

性能参数:


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