设备名称：台式扫描电子显微镜

设备介绍：

型号：Phenom ProX

设备用途：飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 是终极的集成化成像分析系统。借助该系统，既可观察样品的表面形貌，又可分析其元素组分。

研究样品时，得到样品的形貌信息只是解决了一半问题。获得样品的元素组分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊设计的能谱探测器，飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 可以完善解决上述所有问题。

能谱仪是一种基于样品被电子束激发而产生 X 射线的分析仪器。Phenom 的能谱仪无论软件、硬件都是完全集成设计在飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 系统中。

Element Identification (EID) 软件可以使用户实现多点分析，检测样品的元素组分。此外，该软件还可以扩展到元素分析线面扫（mapping）功能。分步操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据。

设备组成：扫描电子显微镜(SEM)主要由电子枪（灯丝为CeB6）、加速电压、真空系统、背散射电子探测器及计算机控制系统等组成。

性能参数：

• 光学放大：20 - 135 X

• 电子光学放大：80 - 130,000 X

• 分辨率：优于 10 nm

• 数字放大：Max. 12 X

• 光学导航相机：彩色

• 加速电压：5 Kv - 15 Kv  连续可调

• 真空模式：高分辨率模式与降低核电效应两种模式

• 探测器：背散射电子探测器

• 样品尺寸：最大直径 32 mm (Ø)

• 样品高度：最高 100 mm